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2023年7月6日学术讲座

编辑:李恭新    时间:2023-07-03    点击数:    来源:    文、图:李恭新

报告人 讲座题目

标题:基于原子力显微镜的大尺寸复杂形状光学器件原位纳米测量技术

报告人:施佳林,副研究员,中国科学院沈阳自动化研究所,瑞士联邦理工大学

时间:7月6日 下午1:30-3:30

地点:线上,腾讯会议:587-510-095


报告简介:

大尺寸精密光学元件,例如针对EUVDUV光刻机的大型光学元件,对其表面粗糙度具有纳米甚至亚纳米量级的测量要求。原子力显微镜是超大曲面镜片纳米尺度表面形貌唯一的测量工具。然而受限于目前原子力显微镜对被测样品尺寸的限制,需要将大尺寸光学元件搬运到原子力显微镜设备中进行检测,存在应力释放、重定位等问题,严重影响了光学元件的制造效率。此外,超大尺寸光学元件由于尺寸巨大,传统原子力显微镜样品台无法装载和测量。针对大尺寸光学元件检测面临的问题,提出了基于原子力显微镜的大口径光学镜面的原位纳米测量方法,突破低噪声超高速纳米测量、三维纳米减振云台设计及其振动主动控制等关键技术难题,实现原位高精度形貌(包括划痕、缺陷)以及粗糙度等参数的精确测量,为大尺寸光学元件的研发提供技术和装备支撑。


报告人简介:

施佳林,中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,微纳米机器人课题组副研究员,硕士生导师。2013于中国科学院沈阳自动化研究所攻读博士学位,2016年以优秀博士生身份提前留所工作,2018年博士毕业,2020年起担任副研究员。主要研究方向为微纳米检测/操控技术与仪器,发表论文30余篇;申请发明专利11项,国际专利2项;以负责人身份承担国家自然科学基金青年、面上项目、中国博士后面上项目、中科院仪器研发项目等课题;以项目执行人身份策划并获批国自然重大仪器2项、国家重点研发计划项目2项;获纳米精测国际会议最佳会议论文奖、最佳海报奖等4项;获中国自动化学会优秀博士论文奖(全国10篇)、中国科学院沈阳分院优秀科技青年人才奖等奖项;获批科技部青年科技人才中长期出国培训专项项目(全国共32项),目前于瑞士联邦理工大学(EPFL2023QS世界大学排名第16)生物与纳米仪器实验室(LBNI)学习交流,进一步提升在高端纳米精测仪器研发与应用的水平。


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